真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
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真空泵异常损坏因素分析
一、螺杆泵转子表面锈蚀原因分析
真空泵进料介质含二氧化硫、水，二氧化硫与水结合生成亚硫酸，亚硫酸对金属有腐蚀作用，为了防止转子、泵腔腐蚀，在转子和泵腔表面涂特氟龙图层。转子及泵腔出现腐蚀说明图层破坏，亚硫酸已经腐蚀到泵腔。
二、转子及泵腔特氟龙图层破坏原因分析
转子及泵腔表面图层破坏原因可能有三：
一、有固体颗粒进入泵腔，固体颗粒造成涂层破坏。
二、有化学物质在泵腔和转子上形成胶质，胶质碳化变硬，破坏转子及泵腔涂层。
三、其他原因。
1、固体颗粒破坏分析
检查泵入口设备、管道，没有发现自由活动固体颗粒如金属碎片、铁削等。
2、胶质积碳破坏分析
泵入口管道内壁附着物照片，该物质为深棕褐色，经分析内含铁元素、碳元素、氧元素等，是丁二烯、环丁砜等聚合物质，该物质粘合在管道内壁上。如果该物质粘合在泵腔和转子表面易碳化变硬，从而破坏转子表面图层。
3、工艺因素分析
真空泵气相出口压力为80kpa(A)，是负压，而泵液相出口为常压，在正常情况下，导致泵出口液体不能正常进入地下液体罐，而形成回流，从而造成泵出口集聚液体物质，这些液体物质内含亚硫酸，泵出口集聚亚硫酸液对真空泵形成冲击腐蚀，应该说泵出口液体回流是造成泵转子及泵腔腐蚀的主要原因。
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